中信證券:SSMB方案得到廣泛關注 存在EUV光源換道超車的可能性
1年前
中信證券:SSMB方案得到廣泛關注 存在EUV光源換道超車的可能性
格隆匯9月21日|中信證券研報認爲,近期SSMB方案得到廣泛關注,存在EUV光源換道超車的可能性。從技術層面看,SSMB與同步輻射光源技術具有一定相似性,SSMB具備產業化驗證條件。從供應鏈角度看,我國在同步輻射光源領域基礎較好,在核心零部件自主可控的前提下,HEPS項目已完成光源出束。目前,SSMB方案已完成理論證明,項目建設有望提上日程。若SSMB方案商業化進展順利,我國將在光刻機領域取得重大突破並推動國內先進制程領域發展。圍繞SSMB主題,建議關注兩條投資主线:項目基礎設施供應商、光刻機關鍵零部件供應商。
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